如图1所示 。但其Q值较低 ，N77和N79的全频段分别达到了900 MHz 和600 MHz 。为设计更高频带的宽带滤波器开辟了道路。即可调整BAW滤波器的带宽 。交换原梯形滤波器的串联谐振器和并联谐振器的频率 ，这是传统梯形或格状滤波器无法实现的 。可以基于固定频率的谐振器 ，难以实现大的带宽 。
据麦姆斯咨询报道 ，这种三维堆叠结构形成了一个高度紧凑的芯片，这种灵活性使得在同一晶圆上制造具有多种带宽的滤波器成为可能 。因此，所制造的异构集成滤波器具有900 MHz的带宽 ，在诸多应用场景有重要的应用潜力 。研究者利用阻带左侧的通带构建了异构集成BAW滤波器 。通带覆盖3.3 GHz到4.2 GHz。获得用户的广泛认可 。无源电感和电容等器件搭建的滤波器 ，有关滤波器技术已经用在树芯公司的宽带滤波器产品上，
图1 异构集成滤波器 ：（a）异构集成滤波器结构示意图；（b）异构集成滤波器BAW与IPD显微图；（c）滤波器传输特性曲线
此外 ，设计并制备出了N77全波段紧凑型宽带BAW滤波器 ，通带右侧的抑制逐渐减弱，体声波（BAW）滤波器具有较高的Q值 ，来自杭州树芯科技和浙江大学 、新的设计思路克服了谐振器kt²对滤波器带宽带来的限制 ，针对上述问题 ，有效面积仅为1 mm × 0.85 mm ，
如图1所示 ，通带的带宽不再受谐振器kt2的限制 ，但其带宽受限于压电材料机电耦合系数 ，因此 ，通过操作串联电感器和调整相应并联谐振器的面积 ，
图2 滤波器可实现从400 MHz - 2 GHz的带宽变化
这种异构集成滤波器克服了谐振器kt2带来的限制 ，只调节电感值 ，因此 ，图2展示了滤波器从400 MHz到2 GHz的带宽变化能力，
高速通信需要超大的带宽支持 ，为设计更高频带的宽带滤波器的设计提供了新的思路 。平均滚降为250 MHz ，原来的通带变成了阻带 ，研究者分别制造了Al0.8Sc0.2N作为压电层的BAW和基于SiN的IPD器件，导致滤波器的边带特性较差 。该滤波器的平均插入损耗为-2 dB ，实现具有灵活多变的带宽切换调节的异构集成滤波器 ，带外抑制为-28 dB ，杭州电子科技大学的研究人员提出了基于带阻理论的全新网络架构的IPD（Integrated Passive Device）与BAW器件异构集成的滤波器设计思路 ，可以实现较大的带宽 ，原来的阻带变成了通带。例如Wi-Fi6E/7全频段为6.17 - 7.125 GHz ，面向未来无线通信带宽的增加 ，如何实现滤波器的大带宽及高陡降特性成为亟需突破的难题 。可以扩展到阻带的两侧 。还可以调整滤波器左频带的零极点 。
论文链接 ：
https://ieeexplore.ieee.org/document/10478580
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：刘清
